PL

檢測原理

· 光致發(fā)光( Photoluminescence,簡稱PL) ,太陽電池的缺陷往往限制其光電轉換效率和使用壽命

· 光致發(fā)光可快速通過少子壽命變化進行硅片檢測,其原理是利用光致發(fā)光原理獲取晶體硅的熒光照片,且有高分辨率,用以探測硅片的粗糙面及內部破損情況

· 相對比EL測試需要接觸樣品才能進行,PL測試不接觸樣品,因此可對生產電池片中各生產過程進行監(jiān)控



項目規(guī)格
設備尺寸

長450mm寬450mm高770mm

適用最大尺寸175*175mm
適用Wafer類型

單晶、多晶

最高產能

>3600PCS/小時

像素精度

<0.34mm(0.5K 線掃相機)

檢測缺陷精度<0.34mm

UPTime

>98%



項目規(guī)格

黑心、黑邊、黑

單晶、多晶

隱裂單晶、多晶
劃痕

單晶、多晶

污染

單晶、多晶

斷柵

單晶、多晶

燒結不均

單晶、多晶
位錯

多晶

破損單晶、多晶

成像效果

未標題-1.jpg